
MCK-6RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-6RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
一、大平臺金相顯微鏡主要用途和特點:
MCK-6RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-6RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
性能特點:
■ 所有光學部件均經過特殊處理并鍍有特殊膜層
■ 6英寸大平臺半導體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
■ 6英寸大平臺半導體檢查顯微鏡機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術。
■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。
■ 高清相機CKC600,630萬像素,幀速40fps;高清相機CKC2000,2000萬像素,幀速真大15fps;可根據實際使用要求進行選配;
● 獨立的金相檢測系統
不同于傳統的金相顯微鏡,蔡康光學金相系統顯微鏡選擇了緊湊的結構設計,外觀大氣穩重,操作更為靈活。集成了明場、暗場、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用進行選擇。
● 無限遠鉸鏈三目觀察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作。
● 高品質專業LCD檢測金相物鏡
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名稱 |
倍率 |
數值孔徑 |
工作距離 |
名稱 |
倍率 |
數值孔徑 |
工作距離 |
|
半復
明暗場物鏡 |
5X |
0.15 |
14.8mm |
螢石
明暗場物鏡 |
5X |
0.15 |
20mm |
|
10X |
0.30 |
8.5mm |
10X |
0.30 |
11mm |
||
|
20X |
0.45 |
11.9mm |
20X |
0.45 |
3.0mm |
||
|
50X |
0.75 |
3.0mm |
50X |
0.80 |
1.0mm |
||
|
100X |
0.80 |
3.0mm |
100X |
0.90 |
1.0mm |
● 高眼點大視野屈光度可調平場目鏡
SWH10X-H/23mm高眼點大視野平場目鏡, 屈光度可調。
SWH10X-H/25mm超寬25mm視野高眼點目鏡,相對常規22mm的視場范圍,視野更加平坦,寬廣,并且視場邊緣都能保證清晰明亮,給用戶更加舒適的視覺感受。提供更加平臺的觀察范圍,提高工作效率。更大值域屈光度調節范圍可滿足更多用戶的使用需求。
亦可選配其它倍率、視場,并根據不同需求添加指針、測微尺及視度可調功能。
● 高精度物鏡轉換器
轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。
二、大平臺金相顯微鏡MCK-6RC 功能介紹:
MCK-6RC 集成了明場、暗場、偏光、DIC等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測.
集成了明場、暗場、偏光、DIC等各種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。
●明場觀察(反射)
反射照明系統,配以全新設計的無限遠半復消長距明暗場物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質顯微圖像。
●明場觀察(透射)
10W大功率LED,配以N.A.0.9聚光鏡,可在透射照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。
●暗場觀察
將暗場照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜志點及其他細微缺陷。
●簡易偏光觀察
偏振系統包括了起偏鏡插板和檢偏鏡插板,可做偏光檢測,在半導體和PCB檢測中,可消除雜光,細節更清晰真實。360度旋轉式檢偏器可以在不移動標本的情況下,方便的觀察標本在不同偏振角度光線下呈現的狀態.
●DIC微分干涉觀察(選配)
DIC諾曼爾斯基微分干涉襯比系統附件。
在正交偏光的基礎上,插入DlC棱鏡,可進行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術可以使物體表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對比度。
采用高性能微分干涉組件,可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差,轉化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現出來,廣泛用于LCD導電粒子,精密磁盤表面劃痕檢測等領域。
三、大平臺金相顯微鏡主要技術參數:
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名 稱 |
參數規格 |
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|
光學系統 |
無限遠色差校正光學系統 |
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|
觀察方式 |
明場/暗場/偏光 |
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|
光學放大倍數 |
50倍-1000倍 |
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|
數碼放大倍數 |
150倍-3000倍 |
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|
觀察筒 |
正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
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|
目鏡 |
高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調 |
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無限遠半復消色差長距明暗場物鏡 |
物鏡倍率 |
數值孔徑N A |
工作距離WD(mm) |
齊焦距離 |
|
|
5X |
0.15 |
14.8 |
45 |
||
|
10X |
0.3 |
8.5 |
45 |
||
|
20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
||
|
50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
||
|
100X(選配) |
0.80 |
3.0 |
45 |
||
|
物鏡轉換器 |
5孔明暗場手動物鏡轉換器(帶DIC插槽) |
||||
|
調焦機構 |
低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置 |
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|
載物臺 |
6英寸平臺,平臺面積 450*220mm,移動行程:158mmX158mm機械平臺,X、Y方向同軸調節;含快速移動裝置 |
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落射照明系統 |
5W大功率LED燈,亮度可調,預定中心 |
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|
帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調,帶濾色片插槽 |
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|
內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能 |
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|
透射照明系統 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
||||
|
5W大功率LED燈,亮度可調,預定中心 |
|||||
|
偏光裝置 |
起偏鏡:插入式起偏鏡,可以移出光路 |
||||
|
檢偏鏡:插入式可360°旋轉檢偏鏡,可以移出光路 |
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|
暗場裝置 |
推拉式暗場觀察拉桿,可快速轉換到暗場觀察 |
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微分干涉DIC |
諾曼爾斯基微分干涉片(選配) |
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高清數字攝像機CKC2000S |
最高分辨率 5440×3648,搭載 1 英寸索尼 CMOS 傳感器,2000 萬像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速傳輸,多分辨率檔位幀率輸出,寬溫 - 20℃~70℃穩定工作,C 型鏡頭接口。
內置數字 ISP 圖像處理,支持手動 / 自動白平衡、增益調節,長短曝光可調,最長曝光 1500ms;支持定時連拍、錄像、無損圖像存儲,可翻轉、縮放裁剪圖像,色彩還原度高,低噪點成像。 |
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顯微軟件 |
專業顯微分析軟件,支持景深合成、圖像拼接;可測量點、線、圓、角度等各類幾何參數,工具操作直觀。
支持錄像、圖像后期編輯,可添加文字、比例尺;多圖像格式輸出,配套 SDK 開發包,兼容國產系統,適用于各類顯微檢測分析。 |
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四、大平臺金相顯微鏡組成:
1、金相顯微鏡MCK-6R 2、攝像機接口
3、高清數字攝像機CKC2000S 4、0.01mm測微尺 5、計算機(選購)