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MCK-4RC系列為新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡，專(zhuān)為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-4RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察。
一、大平臺(tái)金相顯微鏡主要用途和特點(diǎn)：
MCK-4RC系列為新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡，專(zhuān)為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-4RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察。
性能特點(diǎn)：
■ 所有光學(xué)部件均經(jīng)過(guò)特殊處理并鍍有特殊膜層
■ 4英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
■ 4英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)。
■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。
■ 高清相機(jī)CKC600，630萬(wàn)像素，幀速40fps；高清相機(jī)CKC2000，2000萬(wàn)像素，幀速真大15fps；可根據(jù)實(shí)際使用要求進(jìn)行選配；
三、大平臺(tái)金相顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：
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名 稱(chēng) |
參數(shù)規(guī)格 |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
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觀察方式 |
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光 |
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光學(xué)放大倍數(shù) |
50倍-500倍 |
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數(shù)碼放大倍數(shù) |
150倍-2000倍 |
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觀察筒 |
正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 |
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目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調(diào) |
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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消色差長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 |
物鏡倍率 |
數(shù)值孔徑N A |
工作距離（mm） |
齊焦距離 |
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5X |
0.15 |
14.8 |
45 |
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10X |
0.3 |
8.5 |
45 |
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20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
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50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
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100X（選配） |
0.80 |
3.0 |
45 |
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物鏡轉(zhuǎn)換器 |
5孔明暗場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） |
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調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置 |
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載物臺(tái) |
4英寸載物臺(tái)，平臺(tái)面積 310*240mm，移動(dòng)行程：100mmX100mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)； |
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落射照明系統(tǒng) |
10W大功率LED燈，亮度可調(diào)，預(yù)定中心 |
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帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽 |
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內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
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透射照明系統(tǒng) |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
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10W大功率LED燈，亮度可調(diào)，預(yù)定中心 |
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偏光裝置 |
起偏鏡：插入式起偏鏡，可以移出光路 |
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檢偏鏡：插入式可360°旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，可以移出光路 |
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暗場(chǎng)裝置 |
推拉式暗場(chǎng)觀察拉桿，可快速轉(zhuǎn)換到暗場(chǎng)觀察 |
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微分干涉DIC |
諾曼爾斯基微分干涉片（選配） |
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高清數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CKC2000S |
分辨率 5440×3648，搭載 1 英寸索尼 CMOS 傳感器，2000 萬(wàn)像素、2.4μm 像元；Type-B USB3.0 高速傳輸，多分辨率檔位幀率輸出，寬溫 - 20℃~70℃穩(wěn)定工作，C 型鏡頭接口。
內(nèi)置數(shù)字 ISP 圖像處理，支持手動(dòng) / 自動(dòng)白平衡、增益調(diào)節(jié)，長(zhǎng)短曝光可調(diào)，最長(zhǎng)曝光 1500ms；支持定時(shí)連拍、錄像、無(wú)損圖像存儲(chǔ)，可翻轉(zhuǎn)、縮放裁剪圖像，色彩還原度高，低噪點(diǎn)成像。 |
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顯微軟件 |
專(zhuān)業(yè)顯微分析軟件，支持景深合成、圖像拼接；可測(cè)量點(diǎn)、線、圓、角度等各類(lèi)幾何參數(shù)，工具操作直觀。
支持錄像、圖像后期編輯，可添加文字、比例尺；多圖像格式輸出，配套 SDK 開(kāi)發(fā)包，兼容國(guó)產(chǎn)系統(tǒng)，適用于各類(lèi)顯微檢測(cè)分析。 |
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四、大平臺(tái)金相顯微鏡組成：
1、金相顯微鏡MCK-4R 2、攝像機(jī)接口
3、高清數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CKC2000S 4、0.01mm測(cè)微尺 5、計(jì)算機(jī)（選購(gòu)）
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