
MCK-12RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-12RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
一、大平臺金相顯微鏡主要用途和特點:
MCK-12RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-12RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
性能特點:
■ 所有光學部件均經過特殊處理并鍍有特殊膜層
■ 12英寸大平臺半導體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
■ 12英大平臺半導體檢查顯微鏡機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術。
■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。
■ 高清相機CKC600,630萬像素,幀速40fps;高清相機CKC2000,2000萬像素,幀速真大15fps;可根據實際使用要求進行選配;
二、大平臺金相顯微鏡MCK-12RC 功能介紹:
MCK-12RC 集成了明場、暗場、偏光、DIC等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測.
集成了明場、暗場、偏光、DIC等各種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。
●明場觀察(反射)
反射照明系統,配以全新設計的無限遠半復消長距明暗場物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質顯微圖像。
●明場觀察(透射)
10W大功率LED,配以N.A.0.9聚光鏡,可在透射照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。
●暗場觀察
將暗場照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜志點及其他細微缺陷。
●簡易偏光觀察
偏振系統包括了起偏鏡插板和檢偏鏡插板,可做偏光檢測,在半導體和PCB檢測中,可消除雜光,細節更清晰真實。360度旋轉式檢偏器可以在不移動標本的情況下,方便的觀察標本在不同偏振角度光線下呈現的狀態.
●DIC微分干涉觀察(選配)
DIC諾曼爾斯基微分干涉襯比系統附件。
在正交偏光的基礎上,插入DlC棱鏡,可進行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術可以使物體表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對比度。
采用高性能微分干涉組件,可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差,轉化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現出來,廣泛用于LCD導電粒子,精密磁盤表面劃痕檢測等領域。
三、大平臺金相顯微鏡主要技術參數:
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名 稱 |
參數規格 |
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|
光學系統 |
無限遠色差校正光學系統 |
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觀察方式 |
明場/暗場/偏光 |
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|
光學放大倍數 |
50倍-1000倍 |
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|
數碼放大倍數 |
150倍-3000倍 |
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觀察筒 |
三目筒觀察角度可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
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|
目鏡 |
高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調 |
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無限遠半復消色差長距明暗場物鏡 |
物鏡倍率 |
數值孔徑N A |
工作距離WD(mm) |
齊焦距離 |
|
|
5X |
0.15 |
15 |
45 |
|
|
|
10X |
0.3 |
8.4 |
45 |
|
|
|
20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
|
|
|
50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
|
|
|
100X(選配) |
0.90 |
1 |
45 |
|
|
|
物鏡轉換器 |
5孔明暗場手動物鏡轉換器(帶DIC插槽) |
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調焦機構 |
低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置 |
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載物臺 |
14*12英寸平臺,平臺面積 710*420mm,移動行程:356mmX305mm機械平臺,X、Y方向同軸調節;含快速移動裝置 |
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落射照明系統 |
5W大功率LED燈,亮度可調,預定中心 |
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帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調,帶濾色片插槽 |
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內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能 |
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透射照明系統 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
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|
5W大功率LED燈,亮度可調,預定中心 |
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偏光裝置 |
起偏鏡:插入式起偏鏡,可以移出光路 |
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檢偏鏡:插入式可360°旋轉檢偏鏡,可以移出光路 |
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暗場裝置 |
推拉式暗場觀察拉桿,可快速轉換到暗場觀察 |
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微分干涉DIC |
諾曼爾斯基微分干涉片(選配) |
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4K工業相機CK800HD |
4K HDMI工業相機,全高清3840*2160@60FPS,采用sony高清高靈敏度CMOS傳感器;相機采用HDMI線連接高清顯示器,通過相機雙USB口接鼠標和U盤實現圖像的抓取或錄制,無需再接電腦操作。多接口連接支持USB、HDMI、千兆網口傳輸;可以直接連接鼠標操作。 |
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軟件功能 |
圖像處理及拍攝軟件,可對圖像中的點、線、圓、圓弧、角度、矩形及任何圖形幾何參數的測量。測量工具使用方便直觀,可在圖像上添加文字、放置比例尺、標注等,是顯微圖像測量與分析的有效工具。 |
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四、大平臺金相顯微鏡組成:
1、金相顯微鏡MCK-12R 2、攝像機接口
3、高清4K相機CK800HD 4、測微尺0.01mm 5、高清顯示器